高純氣體色譜儀測(cè)試是痕量分析學(xué)科的一個(gè)分支。它是研究氣體純度分析與其中痕量雜質(zhì)測(cè)定的一門范圍較窄但具有現(xiàn)實(shí)意義的專業(yè)學(xué)科。隨著我國經(jīng)濟(jì)的高速發(fā)展，對(duì)高純氣不僅在數(shù)量上、質(zhì)量上、種類上都不斷提出新的要求，而且對(duì)相應(yīng)的國家標(biāo)準(zhǔn)、檢測(cè)理論、方法與檢測(cè)儀器的研究、研制與生產(chǎn)都提出了更高的要求。“超純氣體”一詞是在1964年全國超純氣體測(cè)試年會(huì)上定義的，即凡氣體純度達(dá)5個(gè)“9”（99.999%）以上，總雜質(zhì)為10×10-6VV（即10ppm）以下的氣體皆屬“超純氣體范疇。

　　高純氣體色譜儀具有各種*性而不可替代。如同時(shí)可檢測(cè)多個(gè)組分，分析時(shí)間短，操作簡(jiǎn)便，分析技術(shù)靈活多變，價(jià)格低，能自動(dòng)化檢測(cè)與計(jì)算機(jī)控制等優(yōu)點(diǎn)，因而其產(chǎn)品受到廣大用戶的歡迎。目前用于純氣中雜質(zhì)氣體分析的高純氣體色譜儀檢測(cè)器有如下幾種。

　?。?）熱傳導(dǎo)池檢測(cè)器（TCD）該檢測(cè)器的指標(biāo)可以達(dá)到ppm級(jí)檢測(cè)。與變溫濃縮法配合可以檢測(cè)到ppb級(jí)，例如高純氫氣，超純氫的檢測(cè)可以測(cè)到0.1ppb（0.1x10-9VV）級(jí)。

　　（2）氣敏檢測(cè)器在檢測(cè)高純氮?dú)獾膰覙?biāo)準(zhǔn)（GB/T8980-1996）中用此檢測(cè)器可以檢測(cè)到此0.1ppm雜質(zhì)氫氣。

　?。?）氫火焰離子化檢測(cè)器（FID）國家標(biāo)準(zhǔn)（GB/T8984.1-3-1997）氣體中一氧化碳、二氧化碳和碳烴化合物的測(cè)定是利用火焰離子化法轉(zhuǎn)化后，直接測(cè)定，可檢測(cè)濃度0.1ppm。配合變溫濃縮可測(cè)到1ppb。

　?。?）改性離子檢測(cè)器（M-ArlD）將氬離子化檢測(cè)器改性后可以檢測(cè)高純氬中的氫、氧、氮、甲烷、一氧化碳和二氧化碳雜質(zhì)氣，檢測(cè)濃度可到0.1ppm。

　?。?）氨離子化檢測(cè)器（HelD）該檢測(cè)器大多使用檢測(cè)高純氦氣中雜質(zhì)氣體，直接檢測(cè)可到1ppb。也有與切換技術(shù)配合檢測(cè)其它高純氣中雜質(zhì)氣。

　　（6）電子捕獲檢測(cè)器（ECD）該檢測(cè)器可以檢測(cè)高純氮?dú)?、氬氣、一氧化碳等氣中的痕量氧（ppb級(jí)）。另外還有氧化鉆檢測(cè)器、離子遷移檢測(cè)器等。